中國傳感谷內企業生產場景。（資料圖片）
安徽海車神馭無人裝備科技有限公司生產現場。本報記者 孫言梅 攝
位于蚌埠市高新區的智能制造產業園項目，目前1—4號廠房已基本完成，處于全面收尾階段。本報通訊員 秦 奮 攝
一部5G手機內置的MEMS（微機電系統）數量已超過20顆，主打“智能化”的新能源車，MEMS的數量更是高達上百顆。如果把集成電路芯片比喻成“大腦”，傳感器就是智能設備感知世界的“五官”，應用場景無處不在。
隨著2021年我省首次提出打造“中國傳感谷”、加速推進傳感器產業發展，蚌埠智能傳感產業初露崢嶸。近年來，該市聚焦聚力智能傳感產業，以晶圓加工能力為核心競爭力，吸引下游企業入駐，推動智能傳感器產業軟硬協同、集聚發展，著力打造自主可控芯體最多、種類最全、產值超千億的智能傳感產業集群。
破題缺“芯” 蚌埠MEMS晶圓上線
近日，記者走進位于蚌埠經開區的中國傳感谷核心企業——安徽華鑫微納集成電路有限公司，數十張辦公桌整齊、細密地排布在大廳里，幾十名工作人員緊盯電腦。
“企業的大量設備正在進場，設備供應商在和我們的工程師、專家核對工程與設備細節。”華鑫微納業務發展部部長徐海濤介紹，企業的194臺套設備，到本月底將有80%進場。計劃于明年4月完成串線，6月試產，三季度量產，四季度達產。
該企業的時間表、任務量和工程進度，不僅事關園區周邊企業，還牽動了長三角傳感產業格局，更影響著國內MEMS芯片產業生態。
“數據顯示，去年全球8英寸MEMS晶圓供貨量達到400萬片，國內消耗近200萬片，而去年國內產能約9萬片。”徐海濤對記者說，華鑫微納達產后預計月產8英寸晶圓1萬片，到2027年將達到月產3萬片。
MEMS芯片是MEMS傳感器中技術和價值含量最高的部分，其與大眾熟知的集成電路芯片如CPU、GPU等有很多相似處，都追求在微觀尺度內，以半導體材料為襯底，單片制成晶圓后切割成多片芯片。在晶圓制造過程中所進行的光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜等單項工藝也大體一致。
蚌埠經開區管委會副主任董思敏介紹，華鑫微納將是蚌埠智能傳感器產業的制造基礎，助力解決國內MEMS芯片“卡脖子”問題。作為國內領先的8英寸MEMS智能傳感器晶圓代工企業，華鑫微納將對外提供開放式、定制化MEMS晶圓代工服務。這意味著，智能傳感器的核心部件，繁復多樣的MEMS芯片將在蚌埠生產，向我省乃至全國的智能傳感器企業供貨，為整個產業鏈安全提供有力支撐。
集聚成勢 迸發發展強動能
12月19日，中國傳感谷內，安徽海車神馭無人裝備科技有限公司的工作人員正在進行無人巡邏車的測試工作。“這是我們的主打產品之一，通過激光雷達傳感器、攝像頭等裝置精準感知周圍環境，監測安全狀況，目前已在社區、醫院、學校等領域廣泛應用。”公司相關負責人周永健說。
海車神馭是上海海神機器人科技有限公司在蚌埠投建的智能制造基地，也是中國傳感谷C區首批入駐并投產的企業。除了無人巡邏車，該企業還生產無人快遞車、無人清掃車等，產品的核心競爭力在于算法、控制器和傳感器等軟硬件。
“蚌埠是全國三大傳感器基地之一，也是安徽唯一、全國不多的同時擁有集成電路和MEMS晶圓生產線的城市，聚集眾多傳感器領域上下游企業，因此企業選擇落戶在此。今年4月投產，10月就入規了。”周永健說。
企業的高質量發展，離不開政府支持。今年初，海車神馭進入試生產階段，因生產技術要求較高，企業面臨一線技工短缺的難題。蚌埠經開區走訪了解情況后，及時組織開展招聘活動，積極對接本地職業院校，招聘20多名工人進廠，確保了企業試生產的正常進行。
“在蚌埠經開區相關部門的持續幫助下，目前車間已有70多名工人，保障了5條生產線正常運轉，今年將完成產值3000萬元。明年我們會進一步擴大產能，開拓更廣闊的發展空間。”周永健說。
目前，蚌埠市已培育北方微電子、芯動聯科、希磁科技、有家硅光、依愛消防、雙環電子等一批行業領軍企業。隨著一個個企業加快集聚，蚌埠智能傳感產業集群乘風而起。數據顯示，全市智能傳感產業相關企業已有200余家，經濟規模總量超百億元。
服務升級 持續優化產業生態
傳感器產業產品品種多、企業規模小、應用領域分散、制造工藝復雜。蚌埠為何將其確定為重點打造的六大產業集群之一？
有行業研究數據顯示，消費電子產品的傳感化、自動駕駛、工業4.0和人工智能的興起，導致全球未來長期大量的MEMS器件需求。預計2029年，全球MEMS晶圓產量將增長到500萬片。
蚌埠的目標，是切分傳感器產業中未來需求旺盛、技術門檻高、利潤豐厚的智能傳感器市場。“已經形成了多條細分賽道，各有龍頭企業牽引。”董思敏介紹，以芯動聯科為代表的慣性傳感器主要應用于消費電子，以希磁科技為代表的磁電流傳感器裝備在新能源汽車等電控場景。
蚌埠市還成立智能傳感產業專班，由市領導牽頭調度，定期協調解決園區建設發展中的各類問題。為了應對智能傳感企業相對規模小、投入不足，目前已落地運行總規模約26億元的4只基金，引育匯電能源等10余個項目落地，目前正陸續組建總規模約20億元的5只基金。
為了解決企業生產的共性需求，蚌埠經開區創新性地由園區代建包括表面處理中心、大宗氣站等，企業“拎包入住”即可共享這些生產服務。園區還建成微電子機械系統（MEMS）國家地方聯合工程實驗室等近20個創新平臺，其中省級以上創新平臺9個，與大院大所、著名高校廣泛合作，為園區企業提供全方位的科研技術支撐。
蚌埠智能傳感產業從北方微電子研究院一條6英寸MEMS中試線出發，篳路藍縷、久久為功，沿著“一個科研院所帶動一個產業發展”的思路一路走來，目前已成為自主可控芯體最多、傳感器種類最全，集研發設計、晶圓制造、封裝測試、終端應用為一體的全產業鏈聚集區。
（本報記者 強 飛 孫言梅）
